真空泵叶片普遍运用在旋片式真空泵转子槽内,真空泵转子以及叶片均被密封在真空泵缸体内部,采用真空泵油作为润滑介质起着增加真空泵叶片与缸体接触面积的作用下从而达到理想状态下极限真空。若真空泵叶片过短过薄,将导致真空度不足甚至导致真空泵发生严重故障。在此,建议大家在选用真空泵叶片时应找有实力、诚信经营的有公司证明的合法供应商。较l好是找一些专业厂家提供此类产品!
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三较型溅射离子泵,普旭叶片公司,(或二较型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。